Filtration de haute pureté pour une fabrication de semi-conducteurs ultra-propre
Description
Filtre à gaz à haut débit – Spécialement conçu pour la filtration de gaz de process ultra-purs dans la fabrication de semi-conducteurs. Fabriqué avec précision en acier inoxydable 316L, il est doté d'un média filtrant multi-colonnes ou à disques empilés garantissant une faible résistance à haut débit, avec une précision de filtration de 0,003 µm pour répondre aux exigences de pureté les plus strictes. Sa construction entièrement métallique en fait une solution de filtration idéale pour les environnements dynamiques à haute température.
Caractéristiques du produit
▶Structure entièrement en acier inoxydable 316L— Assure la durabilité et la résistance à la corrosion.
▶Débit élevé, faible résistance— Optimisé pour un débit élevé avec une perte de pression minimale.
▶Efficacité de rétention des particules ultra-élevée— Excellent pour maintenir des conditions de pureté extrême.
▶Résistant aux hautes températures, à la pression et à la corrosion— Adapté aux environnements difficiles.
▶Compatible avec divers gaz de procédé— Polyvalent pour de multiples applications industrielles.
▶Idéal pour la fabrication, les tests et le conditionnement en salle blanche— Idéal pour une utilisation en environnement contrôlé.
▶Tests d'intégrité à 100 %— Chaque filtre est soumis à des tests d'intégrité complets pour garantir sa qualité.
▶Test d'étanchéité à l'hélium à 100 %— Vérifié par des tests d'étanchéité à l'hélium pour garantir la fiabilité dans les applications critiques.
Fiche de données
Paramètres techniques
| Paramètre | Spécification |
|---|---|
| Matériau de l'élément filtrant | acier inoxydable 316L fritté en poudre |
| Matériau du boîtier | acier inoxydable 316L |
| Pression d'entrée maximale | 207 bars |
| Pression différentielle de fonctionnement maximale | 5,2 bars |
| Taux de fuite de validation de l'hélium | 2 x 10⁻¹⁰ cc/min |
| Taux de fuite lors des tests à l'hélium | 1 x 10⁻¹⁰ cc/min |
| Traitement de surface | |
| Surface externe | Ra < 1,6 μm |
| Surface interne | Ra < 0,2 μm |
| Température maximale de fonctionnement | |
| gaz inerte | 400-500℃ |
| Gaz corrosifs et réactifs | 50℃ |
| Efficacité de rétention des particules | ≥99,9999999 % (9LRV) à 30 slpm |
| Propreté en aval | ≤ 0,03 particules/litre à > 0,01 μm, 30 slpm |
| Taille de rétention des particules | ≥0,003 μm |
Taille
Voici la référence de la pièce que vous pouvez commander et les détails de taille :
| Modèle de produit | Matériau de l'élément filtrant | Précision de filtration (μm) | Type de connexion |
|---|---|---|---|
| Z01B-00647 | Acier inoxydable 316L | 10~0,003 | 1/4” |
| Z01B-00648 | Acier inoxydable 316L | 10~0,003 | 1/2” |
| Z01B-00649 | Acier inoxydable 316L | 10~0,003 | 1/8” |
| Z01B-00650 | Acier inoxydable 316L | 10~0,003 | 1” |
| Personnalisable | Acier inoxydable 316L | 10~0,003 | Au besoin |
Applications typiques
quelques applications typiques deFiltres en vrac et utilitaires de haute puretéetFiltres à flux de gaz au niveau de la station de gaz:
1. Fabrication de semi-conducteurs
*Assure un approvisionnement en gaz ultra-pur pour les procédés de fabrication, de gravure et de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) des plaquettes.
*Maintient une pureté élevée dans les systèmes de distribution de gaz en vrac pour l'azote, l'argon et autres gaz vecteurs.
2. Production pharmaceutique
*Fournit un gaz stérile et exempt de particules pour les environnements de fabrication critiques.
*Assure une filtration de haute pureté pour les salles blanches et les environnements contrôlés afin de préserver l'intégrité du produit.
3. Systèmes de gaz de laboratoire
*Utilisé en laboratoire pour purifier les flux gazeux dans des équipements analytiques tels que la chromatographie en phase gazeuse et la spectrométrie de masse.
*Garantit la fourniture de gaz de haute pureté pour les applications de recherche et d'essai, protégeant ainsi les instruments sensibles.
4. Transformation des aliments et des boissons
*Filtre le CO₂ et les autres gaz utilisés dans la carbonatation, l'emballage et le stockage, maintenant ainsi la sécurité et la qualité des aliments.
*Garantit un approvisionnement en gaz exempt de contamination dans les usines de traitement, notamment pour les services de distribution de gaz en vrac.
5. Industrie pétrolière et gazière
*Purifie les flux de gaz naturel dans un système de filtration sur aire de stockage, éliminant les contaminants avant le stockage ou le transport.
*Protège les équipements en aval en éliminant les particules, l'humidité et les impuretés dans les systèmes de flux de gaz à haute pression.
6. Fabrication chimique
*Filtre les gaz utilitaires comme l'azote et l'argon utilisés dans la synthèse et les réactions chimiques.
*Maintient la pureté du gaz pour prévenir la contamination et les incohérences de réaction.
7. Aérospatiale et défense
*Fournit des gaz de haute pureté dans les environnements de fabrication et de test pour les matériaux et composants aérospatiaux.
*Garantit une pureté constante des gaz dans les environnements contrôlés pour l'assemblage des aéronefs et des équipements de défense.
8. Production d'énergie (centrales électriques)
*Filtre les gaz à haute pression pour les applications de refroidissement et de traitement, notamment dans les environnements à haute température.
*Améliore l'efficacité et réduit l'usure des équipements en prévenant la contamination des systèmes de refroidissement et de circulation des gaz.
Ces fLes filtres sont essentiels dans toute application nécessitant un flux de gaz propre et constant, améliorant ainsi la protection des équipements.
Efficacité des processus et qualité du produit final dans tous les secteurs d'activité.
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