Filtres à joint C à montage en surface IGS haute performance pour systèmes de distribution de gaz pour semi-conducteurs
Description
Les filtres CMS HENGKO sont conçus pour répondre aux exigences rigoureuses des systèmes de gaz intégrés utilisés dans les outillages des fabricants de semi-conducteurs. Offrant une filtration de pointe à 0,003 µm, ces filtres garantissent des performances et une fiabilité exceptionnelles avec une efficacité d'interception des particules ≥ 99,9999999 % (9-LRV) à 120 slpm.
Fabriqués en acier inoxydable 316L fritté, ces filtres robustes sont conformes à la norme SEMI F86-0304. Ils sont dotés de composants à deux orifices adaptés aux systèmes de distribution de gaz de 1,125 pouce avec une configuration à joint en C. Ils supportent une pression d'entrée maximale de 3,4 MPa à 100 °C et une différence de pression de service maximale de 0,69 MPa à 100 °C.
Ces filtres spécialisés, compatibles avec les spécifications des joints de type C et de type W, assurent une propreté en aval avec libération de particules de
Avec une finition de surface de Ra< 1,6 µm à l'extérieur et RaAvec une granulométrie inférieure à 0,13 µm à l'intérieur, ces filtres sont conçus pour résister à des températures élevées allant jusqu'à 460 °C. Conçus pour une intégration facile et des mises à niveau modulaires, ils simplifient l'installation et la maintenance, contribuant ainsi à optimiser les performances du système dans les applications de distribution et de contrôle des gaz pour semi-conducteurs.
Caractéristiques du produit
▶ Construction entièrement en acier inoxydable 316L
▶ Conception miniaturisée, structure compacte, gain de place
▶ Excellentes caractéristiques de remplacement et de désorption des gaz
▶ Résistant aux hautes températures, aux hautes pressions et à la corrosion
▶ Boîtier en acier inoxydable 316L électropoli
▶ Installation et maintenance faciles et efficaces
▶ Étanchéité mécanique, structurellement non soudée au fluide
Fiche de données
| Paramètres techniques | Valeurs |
|---|---|
| Matériau de l'élément filtrant | Poudre frittée pour acier inoxydable 316L |
| Matériau du boîtier | Acier inoxydable 316L |
| Pression d'entrée maximale | 3,4 MPa à 100 °C |
| Différentiel de fonctionnement maximal | 0,69 MPa à 100 °C |
| Taux de fuite de vérification de l'hélium | 1 x 10⁻¹¹ cc/min |
| Taux de fuite lors du test à l'hélium | 1 x 10⁻⁹ cc/min |
| Traitement de surface | Rayonnement de la surface externe< 1,6 μm |
| Surface intérieure Ra< 0,13 μm | |
| Température maximale de fonctionnement | 460 °C |
| Efficacité d'interception des particules | ≥99,9999999 % (9-LRV) à 120 slpm (MPPS de référence, toutes particules) |
| Propreté en aval | Libération de particules :< 0,03 particules/litre (< 1 particule/ft³) |
| Composés volatils :< 10 ppb d'humidité | |
| Taille d'interception des particules | ≥0,003 μm |
| Plage de débit | 0 ~ 120 slpm |
Taille
Voici la référence de la pièce que vous pouvez commander et les détails de taille :
| Modèle de produit | Débit | Hauteur H (mm) | Précision de filtration | Niveau de nettoyage |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 slpm | 51,6 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 slpm | 82,9 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 slpm | 126.2 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 slpm | 167,9 | 0,003 μm | C |
Applications typiques
Pour une utilisation avec les systèmes de distribution de gaz modulaires à montage en surface W-seal et C-seal de 1,125" et 1,5".
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