Filtres semi-conducteurs

Filtres à gaz semi-conducteurs :

Garantir une pureté de gaz impeccable dans la fabrication de puces

Dans le monde complexe de la fabrication des semi-conducteurs, où la précision et la pureté sont primordiales, la qualité des

Les gaz utilisés jouent un rôle essentiel dans la détermination du succès du processus. Les impuretés, même à des niveaux infinitésimaux,

peut faire des ravages sur les circuits délicats des micropuces, les rendant défectueuses et inutilisables. Pour sauvegarder

Dans ce processus critique, les filtres à gaz semi-conducteurs agissent comme des gardiens inflexibles, éliminant méticuleusement les contaminants.

et garantir la qualité irréprochable des gaz qui circulent dans les lignes de fabrication.

Les filtres en métal fritté présentent de nombreuses excellentes caractéristiques et avantages.

1. Fabriqué dans un environnement de salle blanche de pointe

Ces filtres naissent dans une salle blanche de pointe, un environnement où des conditions impeccables sont méticuleusement maintenues pour minimiser toute contamination potentielle. Ils subissent un processus de fabrication rigoureux, commençant par un soudage de précision sous atmosphère d’air purifié. Un rinçage ultérieur à l'eau déminéralisée, suivi d'une purge à l'azote filtré à haute pression, élimine toutes les particules persistantes et réduit le risque de perte de particules.

2. Efficacité exceptionnelle d’élimination des particules

Avec une efficacité de filtration remarquable de 9 LRV pour les particules de 0,003 μm, adhérant aux normes strictes fixées par les méthodes de test SEMI F38 et ISO 12500, ces filtres éliminent efficacement toutes les particules générées par la corrosion et les particules générées par les pièces mobiles, garantissant ainsi la pureté immaculée du des gaz.

3. Résistance mécanique supérieure

Rigoureusement testés pour garantir une résilience exceptionnelle dans des processus de fabrication exigeants et des environnements qui utilisent souvent des pressions de gaz élevées, ces filtres offrent des performances inébranlables tout au long de leur durée de vie.

4. Dépasser les normes les plus élevées de l'industrie

Surpassant les exigences strictes de filtration des gaz pour le traitement des semi-conducteurs, ces filtres sont soumis à des tests rigoureux pour garantir qu'ils répondent à l'efficacité de filtration critique, au contrôle précis du débit et aux normes de sécurité exigées par les systèmes de distribution de gaz dans la fabrication de semi-conducteurs.

5. Engagement inébranlable envers la sécurité

Pour se protéger contre l'exposition aux gaz de procédé inflammables, corrosifs, toxiques et pyrophoriques, les boîtiers de filtres sont soumis à des tests de fuite méticuleux, garantissant qu'ils atteignent un taux de fuite remarquable inférieur à 1 x 10-9 atm scc/seconde. Cet engagement inébranlable en faveur de la sécurité garantit que les gaz dangereux sont contenus et empêchés de causer des dommages.

6. Pureté sans compromis pour l’excellence en matière de fabrication de puces

Grâce à leurs capacités de filtration exceptionnelles, leur engagement inébranlable en faveur de la sécurité et leur respect des normes industrielles les plus élevées, ces filtres à gaz jouent un rôle central dans la sauvegarde du processus complexe de fabrication des semi-conducteurs. Ils sont les gardiens de la pureté, garantissant que seuls les gaz les plus propres circulent dans les chaînes de fabrication, ouvrant ainsi la voie à la création de micropuces hautes performances qui alimentent notre monde moderne.

Types de filtres semi-conducteurs

Les filtres semi-conducteurs sont utilisés dans diverses applications, notamment :

* Fabrication d'électronique :

Les filtres à semi-conducteurs sont utilisés pour éliminer les particules de l'eau ultrapure, des gaz et des produits chimiques utilisés dans la fabrication des semi-conducteurs.

* Planarisation chimico-mécanique (CMP) :

Les filtres semi-conducteurs sont utilisés pour éliminer les particules des boues CMP, qui sont utilisées pour polir les tranches semi-conductrices.

* Biomédical :

Les filtres semi-conducteurs sont utilisés pour éliminer les particules des fluides utilisés dans les diagnostics et les traitements médicaux.

* Environnemental :

Les filtres semi-conducteurs sont utilisés pour éliminer les particules de l'air et de l'eau.

Il existe quatre principaux types de filtres semi-conducteurs :

1. Filtres à membrane :

Les filtres à membrane sont constitués d’un film fin et poreux qui laisse passer les fluides tout en piégeant les particules.

 

Filtres à membrane pour semi-conducteurs

 

 

2. Filtres de profondeur :

Les filtres en profondeur sont constitués d'un lit de matériau épais et tortueux qui emprisonne les particules lorsqu'elles traversent le filtre.

 

Filtres en profondeur pour semi-conducteurs

 

 

3. Filtres adsorbants :

Les filtres adsorbants sont constitués d’un matériau qui attire et retient les particules.

 

 Filtres adsorbants pour semi-conducteurs

 

 

4. Filtres en métal fritté

Les filtres en métal fritté sont un type de filtre en profondeur couramment utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Ils sont fabriqués en frittant une fine poudre métallique dans une structure poreuse. Les filtres en métal fritté sont connus pour leur grande durabilité, leur efficacité de filtration élevée et leur capacité à résister à des températures et des pressions élevées.

Avantages des filtres métalliques frittés pour la fabrication de semi-conducteurs :

* Haute durabilité :

Les filtres en métal fritté sont très durables et peuvent résister à des conditions de fonctionnement difficiles, notamment des températures et des pressions élevées et des produits chimiques corrosifs.

 

* Haute efficacité de filtration :

Les filtres en métal fritté peuvent éliminer les particules jusqu'à 0,01 microns, ce qui est essentiel pour protéger les composants semi-conducteurs délicats de la contamination.

* Longue durée de vie :

Les filtres en métal fritté ont une longue durée de vie et peuvent être facilement nettoyés et réutilisés.

* Compatibilité chimique :

Les filtres en métal fritté sont compatibles avec une large gamme de produits chimiques, ce qui les rend adaptés à une utilisation dans divers processus de fabrication de semi-conducteurs.

Applications des filtres métalliques frittés dans la fabrication de semi-conducteurs :

*Épuration des gaz :

Les filtres en métal fritté sont utilisés pour purifier les gaz utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs, tels que l'azote, l'hydrogène et l'oxygène.

* Filtration chimique :

Les filtres en métal fritté sont utilisés pour filtrer les produits chimiques utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs, tels que les acides, les bases et les solvants.

* Filtration d'eau ultra pure :

Les filtres en métal fritté sont utilisés pour filtrer l’eau ultrapure utilisée dans la fabrication de semi-conducteurs.

* Filtration des boues CMP :

Les filtres métalliques frittés sont utilisés pour filtrer les boues CMP, qui sont utilisées pour polir les plaquettes semi-conductrices.

Les filtres en métal fritté constituent un élément essentiel du processus de fabrication des semi-conducteurs, contribuant à garantir la production de dispositifs semi-conducteurs de haute qualité.

 

Le type de filtre semi-conducteur utilisé dans une application particulière dépend de la taille des particules à éliminer, du type de fluide filtré et du niveau de filtration souhaité.

Voici un tableau résumant les différents types de filtres semi-conducteurs :

Type de filtre	Description	Applications	Image
Filtres à membrane	Constitué d'un film fin et poreux qui laisse passer les fluides tout en piégeant les particules.	Fabrication électronique, CMP, biomédical, environnemental	Filtres à membrane pour semi-conducteurs
Filtres de profondeur	Fabriqué à partir d'un lit de matériau épais et tortueux qui emprisonne les particules lorsqu'elles traversent le filtre.	CMP, biomédical, environnemental	Filtres en profondeur pour semi-conducteurs
Filtres adsorbants	Fabriqué dans un matériau qui attire et retient les particules.	Fabrication électronique, CMP, biomédical, environnemental	Filtres adsorbants pour semi-conducteurs
Filtres en métal fritté	Fabriqué en frittant une fine poudre de métal dans une structure poreuse.	Purification des gaz, filtration chimique, filtration de l'eau ultra pure, filtration des boues CMP	Ouvre dans une nouvelle fenêtrewww.hengko.com Filtres en métal fritté pour semi-conducteur

Application

Les filtres à gaz semi-conducteurs en métal fritté sont largement utilisés dans diverses applications de l’industrie des semi-conducteurs. Leurs propriétés uniques, telles qu'une efficacité de filtration élevée, une durabilité et une capacité à résister à des températures et des pressions élevées, en font un composant essentiel des systèmes de distribution de gaz dans la fabrication de semi-conducteurs.

Voici quelques-unes des applications spécifiques des filtres à gaz semi-conducteurs en métal fritté :

1. Production de plaquettes :

Les filtres en métal fritté sont utilisés pour purifier les gaz utilisés dans la production de plaquettes, tels que l'azote, l'hydrogène et l'oxygène. Ces gaz sont essentiels pour des processus tels que la croissance épitaxiale, la gravure et le dopage.

2. Filtration chimique :

Les filtres en métal fritté sont utilisés pour filtrer les produits chimiques utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs, tels que les acides, les bases et les solvants. Ces produits chimiques sont utilisés à diverses fins, notamment le nettoyage, la gravure et le polissage.

3. Filtration de l’eau ultra pure :

Les filtres en métal fritté sont utilisés pour filtrer l'eau ultrapure (UPW) utilisée dans la fabrication de semi-conducteurs. L'UPW est essentiel pour le nettoyage et le rinçage des plaquettes, ainsi que pour la préparation de produits chimiques.

4. Filtration des boues CMP :

Les filtres métalliques frittés sont utilisés pour filtrer les boues CMP, qui sont utilisées pour polir les plaquettes semi-conductrices. Le CMP est un processus critique dans la fabrication de micropuces.

5. Filtration au point d'utilisation (POU) :

Les filtres en métal fritté sont souvent utilisés comme filtres POU, installés directement au point d'utilisation pour fournir le plus haut niveau de filtration. Les filtres POU sont particulièrement importants pour les applications où la pureté du gaz est critique, comme dans la fabrication de microprocesseurs et d'autres dispositifs hautes performances.

6. Manipulation des gaz de haute pureté :

Les filtres en métal fritté sont utilisés dans les systèmes de traitement des gaz de haute pureté pour éliminer les contaminants des gaz utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs. Ces contaminants peuvent inclure des particules, de l’humidité et des composés organiques.

7. Fabrication de produits microélectroniques :

Les filtres en métal fritté sont utilisés dans la fabrication de produits microélectroniques, tels que les ordinateurs, les tablettes, les téléphones portables, les capteurs IoT et les dispositifs de contrôle.

8. Filtration des systèmes microélectromécaniques (MEMS) :

Les filtres en métal fritté sont utilisés dans la filtration MEMS, qui est le processus d'élimination des contaminants des systèmes microélectromécaniques. Les MEMS sont utilisés dans diverses applications, notamment les capteurs, les actionneurs et les transducteurs.

9. Filtration des périphériques de stockage de données :

Les filtres en métal fritté sont utilisés dans la filtration des périphériques de stockage de données, qui consiste à éliminer les contaminants des périphériques de stockage de données, tels que les disques durs et les disques SSD.

En plus de ces applications spécifiques, les filtres à gaz à semi-conducteurs en métal fritté sont également utilisés dans diverses autres applications de l'industrie des semi-conducteurs. Leur polyvalence et leur fiabilité en font un outil indispensable pour les fabricants de semi-conducteurs.

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