Capteur de température et d'humidité pour schéma de contrôle de l'humidité de la température d'une salle blanche à semi-conducteurs
Exposition de produits
La températureetL'humidité de l'espace propre est principalement déterminée en fonction des exigences du processus, mais à condition de répondre aux exigences du processus, la sensation de confort doit être prise en compte.Avec l'amélioration des exigences de propreté de l'air, il y a eu une tendance à des exigences de plus en plus strictes en matière de température et d'humidité.
Comme la précision de traitement est de plus en plus fine, la plage de fluctuation de température est de moins en moins importante.Par exemple, dans le processus d'exposition lithographique de la production de circuits intégrés à grande échelle, la différence de coefficient de dilatation thermique entre le verre et la tranche de silicium en tant que matériau de masque doit être de plus en plus petite.Plaquette de silicium de diamètre 100 um, élévation de température de 1 degré, provoquera une expansion linéaire de 0,24 um, il doit donc y avoir une température de ± 0,1 degré, en même temps la valeur d'humidité est généralement faible, car les gens transpirent, le produit aura de la pollution, particulièrement peur de l'atelier de semi-conducteurs au sodium, cet atelier ne doit pas dépasser 25 degrés.
Une humidité élevée cause plus de problèmes.Lorsque l'humidité relative dépasse 55%, de la rosée se forme sur la paroi du tuyau d'eau de refroidissement, ce qui provoquera divers accidents si cela se produit dans des appareils ou des circuits de précision.Lorsque l'humidité relative est de 50%, il est facile de rouiller.De plus, lorsque l'humidité est trop élevée, la poussière collée à la surface de la puce de silicium sera adsorbée chimiquement sur la surface pour résister à son élimination.Plus l'humidité relative est élevée, plus l'adhérence est difficile à éliminer, mais lorsque l'humidité relative est inférieure à 30%, les particules sont faciles à adsorber sur la surface en raison de l'action de la force électrostatique, et un grand nombre de dispositifs à semi-conducteurs sont sujette à la panne.La plage de température optimale pour la production de plaquettes est de 35 à 45 %.
Par conséquent, le contrôle de la température et de l'humidité est particulièrement important, HENGKO peut vous fournir une série detransmetteur de température et d'humidité solutions de traitement personnalisées!
Capteur de température et d'humidité pour schéma de contrôle de l'humidité de la température d'une salle blanche à semi-conducteurs
Vous ne trouvez pas un produit qui répond à vos besoins ?Contactez notre équipe commerciale pourServices de personnalisation OEM/ODM! 
